Vakuumpumpen

Mechanischen Vakuumpumpen (z. B. Drehschieber- oder Wälzkolbenpumpen) evakuieren in der Regel in den 10 -2 bis 10 -3  mbar Bereich. Öldiffusions-, Turbomolekular- oder Cryopumpen evakuieren in den 10 -4 bis 10 -6 mbar-Bereich.